紫外臭氧清洗機清洗是一個干燥的過程。而紫外臭氧清洗機內會配備臭氧清除裝置，廢氣臭氧在系統內分解，不會造成清潔室內的臭氧含量過高從而產生危害。紫外臭氧清洗機也可配置成連續加載的清洗線，并可與DI水沖洗系統耦合，清除表面的顆粒。應用范圍十分廣泛，在現代信息技術行業中使用光清洗技術比較普遍，隨著我國工業現代化的發展，光清洗和光改質技術還將逐步應用于金屬、塑料、橡膠等工業生產領域。
紫外臭氧清洗機的工作原理:
通過產生185nm和254nm高強度UV光分解有機分子(污染物)。185nm波長紫外光的光能量能將空氣中的氧氣(02)分解成臭氧(03)，而254nm波長的紫外光的光能量能將03分解成02和活性氧(0)。在連續進行的光敏氧化反應中，生成的活性氧原子與活化了的有機物(即碳氫化合物)分子發生氧化反應，生成揮發性氣體(如C02，CO，H20,NO等)逸出物體表面，從而清除粘附在物體表面上的有機污染物，達到清洗的目的。
紫外臭氧清洗機的應用案例包括:表面清潔、薄膜沉積、紫外光刻、表面殺菌、AFM/STM探針清潔、UV化學反應、光學部件的清潔、改善樣品表面親水性、去除表面單分子層、表面氧化、表面刻蝕/縮微成像等。
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